Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем

Авторы

  • А.В. Тихонравов Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0003-4240-7709
  • И.В. Кочиков Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0002-5636-7173
  • И.А. Матвиенко Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
  • Т.Ф. Исаев Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
  • Д.В. Лукьяненко Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0001-5140-3617
  • С.А. Шарапова Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
  • А.Г. Ягола Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0001-6942-2138

DOI:

https://doi.org/10.26089/NumMet.v19r439

Ключевые слова:

обратные задачи, производство оптических покрытий, оптический контроль, компьютерное моделирование

Аннотация

Предложены оценки, которые могут использоваться для предсказания степени ожидаемого эффекта корреляции ошибок в определении толщин слоев при изготовлении оптических покрытий с использованием широкополосного оптического контроля процесса напыления. Численное определение этих оценок требует проведения статистического анализа, для чего реализован эффективный вычислительный алгоритм моделирования ошибок толщин слоев, который обеспечивает, с одной стороны, случайный характер ошибок, но в то же время адекватно отражает корреляцию ошибок восстановления толщин, вносимую применяемым способом контроля напыления слоев. Показано, что ожидаемая степень проявления корреляции ошибок оценивается случайной величиной, распределение которой близко к логнормальному распределению, а в качестве параметров, характеризующих исследуемый эффект, могут быть взяты два основных параметра этого распределения.

Авторы

А.В. Тихонравов

И.В. Кочиков

Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Ленинские горы, 119991, Москва
• ведущий научный сотрудник

И.А. Матвиенко

Т.Ф. Исаев

Д.В. Лукьяненко

С.А. Шарапова

Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Ленинские горы, 119991, Москва
• младший научный сотрудник

А.Г. Ягола

Библиографические ссылки

  1. A. Tikhonravov, I. Kochikov, and A. Yagola, “Mathematical Investigation of the Error Self-Compensation Mechanism in Optical Coating Technology,” Inverse Probl. Sci. En. 26 (8), 1214-1229 (2018).
  2. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Optical Monitoring Strategies for Optical Coating Manufacturing,” in Optical Thin Films and Coatings (Woodhead, Cambridge, 2013), pp. 62-93.
  3. A. V. Tikhonravov and M. K. Trubetskov, “Online Characterization and Re-optimization of Optical Coatings,” Proc. SPIE 5250, 406-413 (2004).
  4. D. Ristau, H. Ehlers, S. Schlichting, and M. Lappschies, “State of the Art in Deterministic Production of Optical Thin Films,” Proc. SPIE 7101 (2008). doi 10.1117/12.797264
  5. S. Wilbrandt, O. Stenzel, N. Kaiser, M. K. Trubetskov, and A. V. Tikhonravov, “In Situ Optical Characterization and Reengineering of Interference Coatings,” Appl. Opt. 47 (13), 49-54 (2008).
  6. T. V. Amotchkina, M. K. Trubetskov, V. Pervak, et al., “Comparison of Algorithms Used for Optical Characterization of Multilayer Optical Coatings,” Appl. Opt. 50 (20), 3389-3395.
  7. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Investigation of the Effect of Accumulation of Thickness Errors in Optical Coating Production Using Broadband Optical Monitoring,” Appl. Opt. 45, 7026-7034 (2006).
  8. V. Zhupanov, I. Kozlov, V. Fedoseev, et al., “Production of Brewster-Angle Thin Film Polarizers Using ZrO_2/SiO_2 Pair of Materials,” Appl. Opt. 56 (4), C30-C34 (2017).
  9. Sh. A. Furman and A. V. Tikhonravov, Basics of Optics of Multilayer Systems (Gif-sur-Yvette Cedex, Frontiéres, 1992).
  10. OptiLayer.
    http://www.optilayer.com . Cited October 15, 2018.
  11. A. V. Tikhonravov and M. K. Trubetskov, “Modern Design Tools and a New Paradigm in Optical Coating Design,” Appl. Opt. 51 (30), 7319-7332 (2012).
  12. O. Stenzel, S. Wilbrandt, N. Kaiser, and D. Fasold, “Development of a Hybrid Monitoring Strategy to the Deposition of Chirped Mirrors by Plasma-Ion Assisted Electron Evaporation,” Proc. SPIE 7101 (2008). doi: 10.1117/12.799711
  13. H. Ehlers, S. Schlichting, C. Schmitz, and D. Ristau, “From Independent Thickness Monitoring to Adaptive Manufacturing: Advanced Deposition Control of Complex Optical Coatings,” Proc. SPIE 8168 (2011). doi: 10.1117/12.898598
  14. A. V. Tikhonravov and M. K. Trubetskov, “Computational Manufacturing as a Bridge between Design and Production,” Appl. Opt. 44 (32), 6877-6884 (2005).
  15. K. Friedrich, S. Wilbrandt, O. Stenzel, et al., “Computational Manufacturing of Optical Interference Coatings: Method, Simulation Results, and Comparison with Experiment,” Appl. Opt. 49 (16), 3150-3162 (2010).
  16. A. V. Tikhonravov, I. V. Kochikov, and A. G. Yagola, “Investigation of the Error Self-compensation Effect Associated with Direct Broad Band Monitoring of Coating Production,” Opt. Express 26 (19), 24964-24972 (2018).

Загрузки

Опубликован

2018-10-19

Как цитировать

Тихонравов А.В., Кочиков И.В., Матвиенко И.А., Исаев Т.Ф., Лукьяненко Д.В., Шарапова С.А., Ягола А.Г. Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем // Вычислительные методы и программирование. 2018. 19. doi 10.26089/NumMet.v19r439

Выпуск

Раздел

Раздел 1. Вычислительные методы и приложения

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 3 4 > >>