Влияние наночастиц на структуру напыляемой тонкой пленки: результаты атомистического моделирования

Авторы

  • Ф.В. Григорьев Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0001-6893-3008
  • В.Б. Сулимов Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
  • А.В. Тихонравов Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова https://orcid.org/0000-0003-4240-7709

DOI:

https://doi.org/10.26089/NumMet.v19r215

Ключевые слова:

структура стекол и пленок, молекулярная динамика, стеклообразный диоксид кремния, наночастицы в структуре пленки

Аннотация

Предложена модель, описывающая влияние наночастиц на атомистическую структуру напыляемых тонких пленок. Модель основана на развитом ранее методе молекулярно-динамического моделирования процесса напыления тонких оптических покрытий и применена к пленкам диоксида кремния. Наночастица предполагается неподвижной, ее взаимодействие с атомами описывается сферически симметричным потенциалом. Структура пленки вблизи наночастицы исследуется с помощью радиальных функций распределения. Показано, что поведение этих функций около наночастицы существенно отличается для случаев высокоэнергетического и низкоэнергетического напыления.

Авторы

Ф.В. Григорьев

Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Ленинские горы, 119991, Москва
• ведущий научный сотрудник

В.Б. Сулимов

Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Ленинские горы, 119991, Москва
• заведующий лабораторией

А.В. Тихонравов

Библиографические ссылки

  1. R. M. Rassel, T. Kim, Z. Shen, et al., “Electrical Properties of SiO_2 Films with Embedded Nanoparticles Formed by SiH_4/O_2 Chemical Vapor Deposition,” J. Vac. Sci. Technol. B 21 (6), 2441-2445 (2003).
  2. H. Amekura and N. Kishimoto, “Implantation of 60 keV Copper Negative Ion into Thin SiO_2 Films on Si: Thermal Stability of Cu Nanoparticles and Recovery of Radiation Damage,” J. Appl. Phys. 94 (2003). doi 10.1063/1.1592608
  3. G. Valverde-Aguilar, V. Renteria, and J. A. Garcia-Macedo, “Modeling of Core-Shell Silver Nanoparticles in Nanostructured Sol-Gel Thin Films,” Proc. SPIE 6641 (2007). doi 10.1117/12.730872
  4. P. Junlabhut, S. Boonruang, and W. Pecharapa, “Optical Absorptivity Enhancement of SiO_2 Thin Film by Ti and Ag Additive,” Energy Procedia 34, 734-739 (2013).
  5. F. V. Grigoriev, A. V. Sulimov, I. V. Kochikov, et al., “High-Performance Atomistic Modeling of Optical Thin Films Deposited by Energetic Processes,” Int. J. High Perf. Comp. Appl. 29} (2), 184-192 (2015).
  6. F. V. Grigoriev, “Force Fields for Molecular Dynamics Simulation of the Deposition of a Silicon Dioxide Film,” Vestn. Mosk. Univ., Ser. 3: Fiz., No. 6, 93-97 (2015) [Moscow Univ. Phys. Bull. 70 (6), 521-526 (2015)].
  7. F. V. Grigoriev, A. V. Sulimov, E. V. Katkova, et al., “Full-Atomistic Nanoscale Modeling of the Ion Beam Sputtering Deposition of SiO{}_2 Thin Films,” J. Non-Cr. Sol. 448, 1-5 (2016).
  8. F. V. Grigoriev, E. V. Katkova, A. V. Sulimov, et al., “Annealing of Deposited SiO_2 Thin Films: Full-Atomistic Simulation Results,” Opt. Mat. Exp. 6 (12), 3960-3966 (2016).
  9. H. J. C. Berendsen, J. P. M. Postma, W. F. van Gunsteren, et al., “Molecular Dynamics with Coupling to an External Bath,” J. Chem. Phys. 81 (8), 3684-3690 (1984).
  10. Visual Molecular Dynamics.
    http://www.ks.uiuc.edu/Research/vmd . Cited April 5, 2018.
  11. D. M. Huang, P. L. Geissler, and D. Chandler, “Scaling of Hydrophobic Solvation Free Energies,” J. Phys. Chem. B 105 (28), 6704-6709 (2001).
  12. M. J. Abraham, T. Murtola, R. Schulz, et al., “GROMACS: High Performance Molecular Simulations through Multi-Level Parallelism from Laptops to Supercomputers,” SoftwareX 1-2}, 19-25 (2015).

Загрузки

Опубликован

26-04-2018

Как цитировать

Григорьев Ф.В., Сулимов В.Б., Тихонравов А.В. Влияние наночастиц на структуру напыляемой тонкой пленки: результаты атомистического моделирования // Вычислительные методы и программирование. 2018. 19. 173-177. doi 10.26089/NumMet.v19r215

Выпуск

Раздел

Раздел 1. Вычислительные методы и приложения

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 3 > >>