Подготовка, обработка и визуализация данных для изготовления голограмм на электронно-лучевой установке ZBA-21
Ключевые слова:
визуализация
голограммы
электронно-лучевая литография
растровый формат
векторный формат
микрорельефы
фотолитография
Аннотация
Разработан пакет программ для проектирования и изготовления компьютерно-синтезированных голограмм с помощью технологии электронно-лучевой литографии на установке ZBA-21. Пакет позволяет визуализировать микрорельеф, подготовленный для экспонирования, переводить данные из растрового формата в формат, используемый ZBA, а также формировать полные данные для экспонирования микрорельефа голограммы из отдельных элементов. Пакет программ используется для изготовления оригиналов голограмм в НИВЦ МГУ.
Загрузки
Опубликован
2002-03-25
Выпуск
Раздел
Раздел 1. Вычислительные методы и приложения
Библиографические ссылки
- Глазков И.М., Райхман Я.А. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем. Минск: Наука и техника, 1981.
- Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984.
- Гончарский А.В., Попов В.В., Степанов В.В. Введение в компьютерную оптику. М.: Изд-во МГУ, 1991.
- Van Renesse R.L. Optical Document Security. London: Artech House, 1997.
- Михальчук В.М., Ровдо А.А, Рыжиков С.В. Микропроцессоры 80x86, Pentium. Архитектура, функционирование, программирование, оптимизация кода. Минск: Битрикс, 1994.
