Подготовка, обработка и визуализация данных для изготовления голограмм на электронно-лучевой установке ZBA-21

Авторы

  • С.Ю. Сережников Институт вычислительной математики имени Г.И. Марчука РАН (ИВМ РАН)

Ключевые слова:

визуализация, голограммы, электронно-лучевая литография, растровый формат, векторный формат, микрорельефы, фотолитография

Аннотация

Разработан пакет программ для проектирования и изготовления компьютерно-синтезированных голограмм с помощью технологии электронно-лучевой литографии на установке ZBA-21. Пакет позволяет визуализировать микрорельеф, подготовленный для экспонирования, переводить данные из растрового формата в формат, используемый ZBA, а также формировать полные данные для экспонирования микрорельефа голограммы из отдельных элементов. Пакет программ используется для изготовления оригиналов голограмм в НИВЦ МГУ.

Автор

С.Ю. Сережников

Библиографические ссылки

  1. Глазков И.М., Райхман Я.А. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем. Минск: Наука и техника, 1981.
  2. Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984.
  3. Гончарский А.В., Попов В.В., Степанов В.В. Введение в компьютерную оптику. М.: Изд-во МГУ, 1991.
  4. Van Renesse R.L. Optical Document Security. London: Artech House, 1997.
  5. Михальчук В.М., Ровдо А.А, Рыжиков С.В. Микропроцессоры 80x86, Pentium. Архитектура, функционирование, программирование, оптимизация кода. Минск: Битрикс, 1994.

Загрузки

Опубликован

25-03-2002

Как цитировать

Сережников С.Ю. Подготовка, обработка и визуализация данных для изготовления голограмм на электронно-лучевой установке ZBA-21 // Вычислительные методы и программирование. 2002. 3. 110-115

Выпуск

Раздел

Раздел 1. Вычислительные методы и приложения

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)