Решение обратной задачи восстановления сигнала электронного микроскопа в режиме отраженных электронов на множестве функций ограниченной вариации
Авторы
-
Н.А. Кошев
- Э.И. Рау
-
А.Г. Ягола
- Н.А. Орликовский
Ключевые слова:
микроскопия
обратные задачи
цифровая обработка изображений
вариация
Аннотация
Быстрое развитие микро- и нанотехнологий влечет за собой развитие методов диагностики и изучения микроскопических структур. Одним из таких методов является томография в режиме отраженных электронов. Пространственное разрешение сигнала электронного микроскопа может быть повышено путем решения обратной задачи восстановления сигнала, определяемого свойствами образца и электронного зонда. Рассматривается метод решения задачи восстановления сигнала на множестве функций с ограниченной полной вариацией и его численная реализация. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (код проекта 11-01-00040) и Visby Program, Swedish Institute, Stockholm.
Загрузки
Опубликован
2011-10-03
Выпуск
Раздел
Раздел 1. Вычислительные методы и приложения
Библиографические ссылки
- Nosker R.W. Scattering of highly focused kilovolt electron beams by solids // J. Appl. Phys. 1969. 40, N 4. 1872-1882.
- Wells O. Low-loss image for surface scanning electron microscope // Appl. Phys. Lett. 1971. 19. 232-235.
- Лукьянов Ф.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А. Глубина пробега первичных электронов, размытие электронного пучка и пространственное разрешение в электронно-зондовых исследованиях // Изв. РАН. Сер. Физ. 2009. 73, N 4. 463-472.
- Konkol A., Booker G.R., Wilshaw P.R. Backscattered electron contrast on cross sections of interfaces and multilayers in scanning electron microscope // Ultramicroscopy. 1995. 58. 233-237.
- Гайдук И.М., Бородина И.Н., Тарасов В.К. Практический алгоритм вычета аппаратной функции при линейном профилировании методом преобразования, обратно свертке // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1990. 54, N 2. 332-337.
- Yano F., Nomura S. Deconvolution of scanning electron microscopy images // Scanning. 1993. 15. 19-24.
- Гостев А.В., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А. Метод и аппаратура микротомографии в сканирующей электронной микроскопии // Приборы и техника эксперимента. 2010. N 4. 124-134.
- Александров А.Ф., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А. Электронно-зондовая неразрушающая бесконтактная диагностика приборных структур микроэлектроники // Микроэлектроника. 2010. 39, N 5. 327-336.
- Зайцев С.И., Кошев Н.А., Лукьянов Ф.А., Рау Э.И., Якимов Е.Б. Прямое измерение диаметра и распределения плотности тока в кроссовере электронного зонда // Тр. XXIII Российской конференции по электронной микроскопии. Черноголовка: Богородский печатник, 2010. 103-104.
- Кошев Н.А., Лукьянов Ф.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А., Ягола А.Г. Повышение пространственного разрешения в режиме отраженных электронов в сканирующей электронной микроскопии // Изв. РАН. Сер. Физ. 2011. 75, N 9. 1248-1251.
- Леонов А.С. О сходимости по полным вариациям регуляризующих алгоритмов решения некорректно поставленных задач // Журн. вычисл. матем. и матем. физ. 2007. 47, N 5. 767-783.
- Леонов А.С. Применение функций нескольких переменных с ограниченными вариациями для численного решения двумерных некорректных задач // Сиб. журн. вычисл. матем. 1999. 2, N 3. 257-270.
- Леонов А.С. Решение некорректно поставленных обратных задач. М.: Либроком, 2010.
- Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979.
- Тихонов А.Н., Гончарский А.В., Степанов В.В., Ягола А.Г. Численные методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1990.
- Тихонов А.Н., Леонов А.С., Ягола А.Г. Нелинейные некорректные задачи. М.: Наука, 1995.
