https://doi.org/10.26089/NumMet.v27r214
Новый вычислительный метод для монохроматического контроля производства оптических покрытий
Ключевые слова:
оптические покрытия
алгоритмы контроля
монохроматический контроль
Аннотация
Представлен новый метод генерации электронных таблиц для монохроматического мониторинга при производстве оптических покрытий. Метод позволяет выбирать оптимальные стратегии контроля для сложных оптических покрытий с большим количеством слоев и неограниченным числом различных длин волн, используемых для контроля их толщины. Предлагаемый подход ориентирован на использование недавно разработанных алгоритмов монохроматического контроля. Примеры демонстрируют высокую вычислительную эффективность метода.
Опубликован
2026-05-04
Выпуск
Раздел
Методы и алгоритмы вычислительной математики и их приложения
Библиографические ссылки
- A. Tikhonravov, Optical Coatings: Design, Characterization, Monitoring (SPIE Press, Bellingham, WA, United States, 2024).
doi 10.1117/3.100017 - H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters. 4th ed. (CRC Press: Boca Raton, FL, USA; Taylor and Francis Group: Abingdon, UK, 2010).
- H. A. Macleod, “Monitoring of optical coatings,” Applied Optics 20 (1), 82–89 (1981).
doi 10.1364/AO.20.000082 - F. Zhao, “Monitoring of periodic multilayers by the level method,” Applied Optics 24 (20), 3339–3342 (1985).
doi 10.1364/AO.24.003339 - A. Zoeller, M. Boss, R. Goetzemann, H. Hagedorn, and W. Klug, “Substantial progress in optical monitoring by intermittent measurement technique,” in Proc. SPIE, Jena, Germany, October 6, 2005 (Advances in Optical Thin Films II. – SPIE, Vol. 5963, 2005), Article Number 59630D.
doi 10.1117/12.624865 - A. Zoeller, M. Boos, H. Hagedorn, and B. Romanov, “Computer simulation of coating processes with monochromatic monitoring,” in Proc. SPIE, Glasgow, Scotland, United Kingdom, September 25, 2008 (Advances in Optical Thin Films III. – SPIE, Vol. 7101, 2008), Article Number 71010G.
doi 10.1117/12.797612 - A. Zoeller, H. Hagedorn, W. Weinrich, and E. Wirth, “Testglass changer for direct optical monitoring,” in Proc. SPIE, Marseille, France, September 5–8, 2011 (Advances in Optical Thin Films IV. – SPIE, Vol. 8168, 2011), Article Number 81681J.
doi 10.1117/12.896859 - J. Zideluns, F. Lemarchand, D. Arhilger, H. Hagedorn, and J. Lumeau, “Automated optical monitoring wavelength selection for thin-film filters,” Opt. Express 29 (21), 33398–33413 (2021).
doi 10.1364/OE.439033 - R. E. Bellman, Dynamic Programming (Princeton University Press, Princeton, NJ, 1957).
Лицензия
Copyright (c) 2026 А. В. Тихонравов, С. А. Шарапова, С. К. Кирпиченко
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
