Тарнавский Г. Особый режим легирования наноколонн подложки кремния. Num. Meth. Prog. [Интернет]. 22 июнь 2010 г. [цитируется по 27 апрель 2024 г.];11(25):210-4. доступно на: https://num-meth.ru/index.php/journal/article/view/392