Тарнавский, Г.А. «Особый режим легирования наноколонн подложки кремния». Вычислительные методы и программирование 11, no. 25 (июнь 22, 2010): 210–214. просмотрено апрель 27, 2024. https://num-meth.ru/index.php/journal/article/view/392.