ТАРНАВСКИЙ, Г. Особый режим легирования наноколонн подложки кремния. Вычислительные методы и программирование, [S. l.], v. 11, n. 25, p. 210–214, 2010. Disponível em: https://num-meth.ru/index.php/journal/article/view/392. Acesso em: 27 апр. 2024.